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微电子行业EDI 超纯水设备解决方案

微电子行业EDI超纯水设备解决方案

一、微电子行业EDI超纯水设备描述

微电子行业EDI超纯水设备中的EDI装置将离子交换树脂充夹在阴/阳离子交换膜之间形成EDI单元。EDI组件中将一定数量的EDI单元间用网状物隔开,形成浓水室,同时在单元组两端设置阴/阳电极。在直流电的推动下,通过淡水室水流中的阴阳离子分别穿过阴阳离子交换膜进入到浓水室而被淡水中去除。而通过浓水室的水将离子带出系统,成为浓水。

 

二、微电子行业EDI超纯水设备性能特点

1、无需酸碱再生:在混床中树脂需要用化学药品酸碱再生,EDI装置不需酸碱,保护环境。

2、连续、简单的操作:在混床中由于每次再生和水质量的变化,使操作过程变得复杂,而EDI的产水过程是稳定的连续的,产水水质是恒定的,没有复杂的操作程序,操作大大简便化。

3、降低了安装的要求:EDI系统与相当处理水量的混床相比,有较小的体积,可依据场地的高度灵活地构造。模块化的设计,使EDI在生产工作时能方便维护。

 

三、微电子行业EDI超纯水设备工艺说明

水源→原水箱→原水泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→5µs保安过滤器→一级高压泵→一级反渗透主机→一级水箱→二级高压泵→二级反渗透系统→二级水箱→EDI水泵→EDI系统→纯水箱→纯水泵

 

四、微电子行业EDI超纯水设备应用领域

微电子行业、化工行业、制药行业、光电行业、新材料制造行业等。

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